檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "滑動控制".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="改良式距離基礎之解耦合自組織模糊滑動控制"
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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…